-   -  
  

  


        ,  ,        ,     ,  - , ,     .

          28.04.01     , 11.04.03      , 11.04.04         .





.. , . . 

-   -  








   -                    .        - .      ,    ,      ,              ,  ,        [1-10].

             .      ,    ,  ,             ,   , ..         .

                  (),      ()    (in situ)  ,        ,             ()  .

                 .          .         (),   (rapid thermal processing  R)     (rapid thermal annealing  RTA).            ,  ,       .               :   .                . ,  -                   , , ,        [4-7].

          ,        -     .         ,      pn-,    ,     pn-.           ,     ,     ,              pn-.           400     10


-10


 .    ,       ,  ,             .

      :     , ,  - ,  .        , ,      .       ,  -  ,         ,      .          .                   [3, 5, 8].

                   .          300   .  ,         .                    .

 . 1      ,       .    . 1,                  .



 1

  -    -  






 . 1   -  ,           .    ,         .           . ,         ,   ,   ,        .

       ,                        ,       .  ,            , ,      ,           .  ,    ,            .

                   ,    .






. 1.    -  






1.      





1.1.    


 , ,    ,  ,     .       








 


, P


, P


       ,      .

        R


,         .

          








 ?   , x    .   ,    d


,      








    ,   ,  








   ,    ,       .        .

       (,   ,   ,  , ,     )          .

   ?      :








       :

;

   ;

   ;

;

 [11, 12].

 ,    ,     . , ,       .   ,     .         








    ; n, ?, m


 ,       ;      ; ?


  ; 


   ; ?   .

      ,     ,           .        .  ,   ,          .       


















 h?   ; E


   ; E


  ;    [11, 13].

      ,    .        ,     .

      :      ,   .             .       ,        ()  .

          








 N


E


      ;    [11].

  (6-10)  E


, n, ?     .  ,    


      .   E


 ?     600-750  -       .

  (11)         ,             [14].








          n


, ,     N


,      -  n


,    








       [15]








 , n


   ,       ?  .

   ,   ,      ,    - .     -      








 t


     [16, 17].

                     , ,   [18]:








 . 2        ()      (). ,        ?   4-5 .      ?.       ?           .

     (, Mo, Al)       ?      (?


),         .

    ?        ,         (12)      .  ,        .          .

        ,     :








 


?   ,      


? = ?? / 4? [11, 13].  ,      .






. 2.     :       (1   = 300 ; 2   = 500 ; 3   = 1000 );       (1  N


= 10





; 2  N


= 10





; 3  N


= 10





)



          .




1.2.          


  ,      ?               .           (. 3)








 r


,r


     .






. 3.        



   r


   ?













     








         t,      ,      .  ()    ,   ,   /.

  








   :








            : x=x+?t.          ,   .        








,         ,    








 2 ,    .    (23),    ,   













       :


















 T(?)    .    ,   ?     .   ? = 0  ,       .  ? = 0  (25)       (?)       ,       






















 ?   X, Y  Z,    (31)   ,   . 4 ? = 1.  ,     40      1 ,     ,  .  K(T)  ?(T)      [19]
















. 4.         : 1  , Y; 2  Z



    













 


     .

          


  :








 . 5        ? = 1    .   ,   , ?     ,    .  ?    ,  ? = ?(?(?(T)))  T = T(?).






. 5.           



  ()     .  . 6          .






. 6.             ( = 4 , r = 20 , 







  .


   .

   ,     (https://www.litres.ru/aleksandr-svetlichny/fotonno-stimulirovannye-tehnologicheskie-processy-mik/)  .

      Visa, MasterCard, Maestro,    ,   ,     ,  PayPal, WebMoney, ., QIWI ,       .


